نظام التلدين الحراري السريع 150 مم بثلاث مجموعات من غازات المعالجة

نظام التلدين الحراري السريع RTP-150RL بثلاث مجموعات من غازات المعالجة

RTP-150RL:
في جو الحماية لنظام التلدين اليدوي السريع لسطح المكتب ، مع تسخين بالأشعة تحت الحمراء للضوء المرئي قطعة واحدة من رقاقة أو عينة ، وقت قصير للعملية ، دقة عالية للتحكم في درجة الحرارة ، مناسبة لرقائق الويفر 2-6 بوصة. تصميم تجويف فريد ، تكنولوجيا متقدمة للتحكم في درجة الحرارة ويضمن نظام التحكم في برنامج RL900 الفريد على أنظمة التلدين بفرن الانتشار التقليدي تماثلًا حراريًا ممتازًا مقارنة بأنظمة RTP الأخرى.

خصائص المنتج:

1. الأشعة تحت الحمراء مصباح الهالوجين أنبوب التدفئة والتبريد باستخدام تبريد الهواء.

2. التحكم في درجة الحرارة PID لطاقة الأنبوب ، يمكنه التحكم بدقة في تسخين درجة الحرارة ، لضمان قابلية استنساخ جيدة وتوحيد درجة الحرارة.

3. يتم اعتماد طريقة سحب الهواء الموازية ، ويتم ضبط مدخل الغاز على سطح الرقاقة لتجنب النقاط الباردة أثناء عملية التلدين وضمان توحيد درجة حرارة المنتج بشكل جيد.

4. يمكن اختيار طرق معالجة الهواء والفراغ ، قبل معالجة تنقية غاز الهواء الداخل.

5. قياسي مع ثلاث مجموعات من غازات المعالجة.

6. الحجم الأقصى لعينة الويفر المفردة القابلة للقياس هو 6 بوصات (150 مم).

7. تم اعتماد تدابير السلامة الثلاثية لحماية فتح درجة حرارة الفرن ، وحماية سلطة فتح وحدة التحكم في درجة الحرارة وحماية سلامة التوقف في حالات الطوارئ للمعدات لضمان سلامة الأدوات.