|
تفاصيل المنتج:
|
| الحد الأقصى لحجم المنتج: | 8 بوصة وما دون رقائق | أبعاد المعدات: | 970 ملم × 1450 ملم × 2024 ملم (العرض × العمق × الطول) |
|---|---|---|---|
| نطاق درجة حرارة التسخين: | درجة حرارة الغرفة ~ 800 °C (المزدوج الحراري) 800 °C ~ 1250 °C (مقياس الحرارة تحت الحمراء) | معدل التسخين: | 150 درجة مئوية/ثانية لوحة عارية 20 درجة مئوية/ثانية حامل كربيد السيليكون |
| توحيد درجة الحرارة: | < 500 درجة مئوية، وحدة ≤ ± 5 درجات مئوية ≥ 500 درجة مئوية، وحدة ≤ ± 1٪ | قابلية تكرار التحكم في درجة الحرارة: | ± 1 |
| مدة درجة حرارة ثابتة: | قابلة للبرمجة حسب المتطلبات | ||
| إبراز: | زيادة الإنتاج المعالجة الحرارية السريعة,نظام التسخين الحراري السريع,Rapid Thermal Processing Annealing System |
||
المعالجة الحرارية السريعة هي فرن إشعاعي شبه أوتوماتيكي 8 بوصات للقوالب السريعة ، والذي يستخدم طبقتين من مصابيح الهالوجين الأشعة تحت الحمراء كمصادر حرارة للتسخين.تجويف الكوارتز الداخلية معزولة ومعزولة، والغلاف الخارجي للتجويف مصنوع من سبيكة الألومنيوم المبردة بالماء ، مما يضمن تسخين منتج متساوٍ ودرجة حرارة سطح منخفضة.
تتبنى المعالجة الحرارية السريعة التحكم في PID ، ويمكن للنظام ضبط قوة إخراج مصابيح الهالوجين تحت الحمراء بسرعة ، مما يجعل التحكم في درجة الحرارة أكثر دقة.
تسخين أنبوب مصباح الهالوجين تحت الحمراء مزدوج الطبقة ، تبريد النيتروجين السريع;
ترتيب المجموعات المستقلة من أنابيب المصابيح لتحسين توحيد درجة الحرارة.
باستخدام تحكم خوارزمية PID، ضبط طاقة مصباح الخروج في الوقت الحقيقي.
يتم تقسيم حسابات المستخدم إلى ثلاثة مستويات من الأذونات لإدارة المعلومات المريحة.
يمكن أن تعرض الواجهة الرئيسية للبرنامج معايير في الوقت الحقيقي مثل الغاز، درجة الحرارة، درجة الفراغ، الخ؛
يحفظ النظام تلقائيًا المعلومات ذات الصلة لكل عملية.
التعرف تلقائيًا على رسائل الخطأ وحماية الجهاز تلقائيًا في حالة وجود تشوهات:
كشف الحرارة الزائدة: درجة حرارة سبيكة الألومنيوم المبردة بالماء على الغلاف الخارجي للغرفة تتجاوز 70 درجة مئوية.
الكشف عن الحرارة: أثناء عملية النظام ، فإن قيمة مراقبة الحرارة لا تتطابق مع القيمة المحددة.
الكشف عن التسخين: قوة الخروج غير الطبيعية أثناء التسخين.
اكتشاف قفل باب الفرن: تحقق مما إذا كان قفل الباب مغلقًا قبل كل عملية.
كشف الغاز: ضغط الغاز يتجاوز النطاق المحدد، ضغط الغاز مرتفع جدا أو منخفض جدا.
اكتشاف تدفق المياه: معدل تدفق المدخل أقل من القيمة الافتراضية.
اكتشاف التسرب: تم اكتشاف التسرب.
مفتاح التوقف الطارئ: أوقف العملية على الفور وقطع مصدر الحرارة.
التسخين عن طريق زرع الأيونات
التسخين السريع بعد طلاء ITO
أكسيد
نمو النترات
تبرئة سبائك السيليكيدات
عملية غاليوم آرسنيد
سبيكة سريعة التواصل الأوهمي
ردود الأكسدة
عمليات المعالجة الحرارية السريعة للشرائح نصف الموصلة الأخرى
| RTP-SA-8 | |
| الحجم الأقصى للمنتج | رقائق 8 بوصات وأقل |
| أبعاد المعدات | 970 ملم × 1450 ملم × 2024 ملم (العرض × العمق × الطول) |
|
نطاق درجة حرارة التدفئة |
درجة حرارة الغرفة ~ 800 درجة مئوية (المزدوج الحراري) 800 درجة مئوية إلى 1250 درجة مئوية (مقياس الحرارة تحت الحمراء) |
|
معدل التدفئة |
رقائق عارية 150 °C/s 20 درجة مئوية/ثانية حامل كربيد السيليكون |
|
توحيد درجة الحرارة
|
< 500 درجة مئوية، وحدة ≤ ± 5 درجة مئوية ≥ 500 درجة مئوية، وحدة ≤ ± 1٪ |
| قابلية تكرار التحكم في درجة الحرارة | ± 1°C |
| مدة الحرارة الثابتة | قابل للبرمجة وفقًا للمتطلبات |
التكوين القياسي
| الرقم | الاسم | نموذج المواصفات | وصف الأداء/المعلمات | كمية | الوحدة |
| 1 | المعالجة الحرارية السريعة | RTP-SA-8 |
الأبعاد الخارجية:970*1450*2024 (العرض × العمق × الارتفاع) |
1 | مجموعة |
| (1) | جسم الفرن | LT-08 | غرفة سبيكة الألومنيوم المطلية بالذهب المبردة بالماء | 1 | مجموعة |
| (2) | غرفة الفراغ | SQ-08 | تجويف الكوارتز عالي النقاء | 1 | مجموعة |
| (3) | أنبوب الهالوجين | D8-20 | 2 كيلوواط/قطعة | 33 | قطعة |
| (4) | دعامة الكوارتز | SJ-08 | الكوارتز عالي النقاء (8 ") | 1 | مجموعة |
| (5) | حلقة الجرافيت | --- | الجرافيت | 1 | مجموعة |
| (6) | الحرارة للقياس الحرارة | K-08G | النوع K ±1.5°C أو ±0.4%t | 2 | مجموعة |
| (7) | حاسوب صناعي | IPC-510 | dvantech التحكم الصناعي، الجيل العاشر i5 1 مجموعة | 1 | مجموعة |
| (8) | شاشة العرض | / | 21شاشة عرض من 5 بوصات | 1 | قطعة |
| (9) | الميزانية المتعددة |
MC-1601L ((10L) ، MC-1602L ((100L) |
أورويك GN2/PN2/O2/N2 احتياطي خط أنابيب غاز واحد لمجموع 5 خطوط أنابيب غاز |
5 | مجموعة |
| 10 | المبرد | KBE-5A | قوة التبريد: 14.8 كيلوواط | 1 | قطعة |
| 11 | مضخة فراغ | SP600 | سرعة المضخة 522L/min | 1 | مجموعة |
| 12 | مقياس الحرارة تحت الحمراء | / | / | 1 | مجموعة |
2.3المستهلكات الشائعة
| الرقم | الاسم | نموذج المواصفات | الوحدة | دورة الصيانة |
| 1 | حلقة الجرافيت | RTP-SiC-8 | إيه أي | البديل المتضرر |
| 2 | لوحات الكوارتز | RTP-QC-8 | إيه أي | البديل المتضرر |
| 3 | دعامة الكوارتز | RTP-QS-8 | إيه أي | البديل المتضرر |
| 4 | أنبوب الكوارتز | RTP-QT-8 | إيه أي | البديل المتضرر |
| 5 | أنبوب المصباح | RTP-HT-8 | إيه أي | الساعة 2000 |
| 6 | حلقة O | RTP-Or-8 | إيه أي | سنة واحدة |
| 7 | المزدوج الحراري من النوع K | KT-800 | إيه أي | 3 أشهر |
| 8 | صيانة مضخة الفراغ | / | إيه أي | سنة واحدة |
| 9 | التحقق من الـ MFC | / | إيه أي | سنة واحدة |
اتصل شخص: Xiwen Bai (Ciel)
الهاتف :: +8613372109561
